2019年中國半導體檢測設備行業(yè)市場規(guī)模及應用領域分析：量測設備和缺陷檢測設備是最主要的兩個領域[圖]

    半導體檢測設備是半導體設備的一個重要分支，占半導體設備比重在15%左右。半導體檢測從設計驗證到最終測試都不可或缺，貫穿整個半導體制造過程。按照電子系統(tǒng)故障檢測中的“十倍法則”，如果一個芯片中的故障沒有在芯片測試時發(fā)現(xiàn)，則在電路板（PCB）級別發(fā)現(xiàn)故障的成本為芯片級別的十倍。

    2019年半導體行業(yè)受存儲價格暴跌影響，全球半導體行業(yè)出現(xiàn)下滑。2019年全球半導體行業(yè)營收為4121億美元，與2018年相比大跌12.1%，這是自2001年以來的最大降幅。2019年全球半導體設備銷售額597.5億美元，較2018年的645.3億美元下降了7.41%。

    2014-2019年全球半導體設備銷售情況

數(shù)據(jù)來源：公開資料整理

    從地區(qū)銷售情況來看，中國臺灣地區(qū)是2019年半導體設備的最大市場，銷售額增長了68％，達到171.2億美元，占比28.65%。中國大陸以134.5億美元的銷售額保持其第二大設備市場的地位。其次是韓國，為99.7億美元，受存儲市場大幅下滑影響，韓國2019年半導體設備銷售額下降了44％。盡管日本，歐洲和世界其他地區(qū)的新設備市場萎縮，但北美設備銷售額在2019年躍升了40％，達到81.5億美元，這是該地區(qū)連續(xù)第三年增長。

全球半導體設備地區(qū)銷售情況（單位：十億美元）

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    智研咨詢發(fā)布的《2020-2026年中國半導體檢測儀器行業(yè)市場運行態(tài)勢及未來發(fā)展前景報告》數(shù)據(jù)顯示：預計2020年我國半導體設備將達1700億元，其中檢測設備占總設備17%（晶圓檢測9%，過程工藝控制8%），預計我國半導體檢測設備2020年規(guī)模在289億元。從檢測設備細分領域而言，量測設備和缺陷檢測設備是最主要的兩個領域，分為為117億元和144億元。

我國半導體設備投資額（億元）

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國內(nèi)半導體檢測設備環(huán)節(jié)市場（億元）

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    工藝控制檢測設備即前道量測/檢測設備，在半導體制造工藝過程中，對晶圓進行測量和檢測，以保證在制造的過程中，關鍵的工藝參數(shù)滿足設計要求，從而提升芯片制造的良品率。

    前道量測/檢測設備占晶圓制造設備比例達10%

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    量測主要是對芯片的薄膜厚度、關鍵尺寸、套準精度等制成尺寸和膜應力、摻雜濃度等材料性質(zhì)進行測量，以確保其符合參數(shù)設計要求；缺陷檢測主要用于識別并定位產(chǎn)品表面存在的雜質(zhì)顆粒沾污、機械劃傷、晶圓圖案缺陷等問題。

半導體檢測設備主要環(huán)節(jié)設備（億元）

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    檢測設備細分到每個領域差異極大，在上游硅片、光刻膠、電子氣體、超凈高純試劑、濺射靶材生產(chǎn)環(huán)節(jié)需大量的分析儀器，其中高端分析儀器比如質(zhì)譜儀、光譜儀、色譜儀是必備儀器。

各環(huán)節(jié)需用到的設備

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高端分析儀器在半導體領域應用

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    全球前道檢測領域前三甲分別為科磊半導體（美國）、應用材料（美國）、日立（日本），占率分別約為52%、12%、11%。國內(nèi)前道檢測領域主要企業(yè)有上海睿勵、上海精測、中科飛測等，整體規(guī)模尚較小。

    量測設備格局

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