半導(dǎo)體拋光液

研判2025！中國(guó)半導(dǎo)體拋光液行業(yè)政策、產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、發(fā)展現(xiàn)狀、競(jìng)爭(zhēng)格局及未來發(fā)展趨勢(shì)分析：全球市場(chǎng)穩(wěn)健增長(zhǎng)，中國(guó)本土替代空間廣闊[圖]

半導(dǎo)體拋光液全稱為半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光液，是由納米級(jí)磨料、氧化劑、絡(luò)合劑、緩蝕劑等化學(xué)試劑與去離子水復(fù)配而成的復(fù)合膠體溶液。其核心作用是通過化學(xué)腐蝕與機(jī)械研磨的協(xié)同作用，對(duì)晶圓表面的硅、銅、鎢等不同材質(zhì)進(jìn)行微米級(jí)或納米級(jí)的精準(zhǔn)去除，實(shí)現(xiàn)晶圓表面的高度平坦化，以此滿足半導(dǎo)體先進(jìn)制程中光刻等后續(xù)工藝對(duì)表面精度的嚴(yán)苛要求。比如在集成電路銅互連制程中，它既能通過氧化劑將銅氧化為易溶解離子，又能借助磨料的機(jī)械作用去除表面氧化層，同時(shí)靠緩蝕劑避免過度腐蝕。