涂膠顯影設(shè)備

涂膠顯影設(shè)備-產(chǎn)業(yè)百科

涂膠顯影設(shè)備（Track）是光刻工序中與光刻機(jī)配套使用的涂膠、顯影及烘烤設(shè)備。近幾年，國內(nèi)涂膠顯影設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)在技術(shù)上取得進(jìn)展，成功在下游客戶端占據(jù)一席之地，涂膠顯影設(shè)備產(chǎn)值快速增長，2024年我國涂膠顯影設(shè)備行業(yè)產(chǎn)值增長到18.26億元。作為光刻機(jī)的“重要搭檔”，涂膠顯影設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路、OLED、LED、化合物半導(dǎo)體&功率器件等先進(jìn)制造領(lǐng)域。隨著下游電子、汽車、通信等行業(yè)需求的穩(wěn)步增長，以及人工智能、云計(jì)算及大數(shù)據(jù)等新興領(lǐng)域的快速發(fā)展，集成電路產(chǎn)業(yè)面臨著新型芯片帶來的產(chǎn)能擴(kuò)張需求，為涂膠顯影設(shè)備行業(yè)帶來廣闊的市場空間。