2025年中國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)壁壘、市場政策、產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、市場規(guī)模、競爭格局及發(fā)展趨勢研判：MKS、AE等國際巨頭占據(jù)主導(dǎo)地位圖]

內(nèi)容概要：我國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)起步較晚，但近年來在國家政策的加持下發(fā)展迅速，據(jù)統(tǒng)計，2024年我國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場規(guī)模達123.3億元，同比增長9.50%，未來，隨著科技的持續(xù)進步和市場需求的日益增長，我國等離子體射頻電源系統(tǒng)市場有望迎來更廣闊的發(fā)展空間。

上市企業(yè)：英杰電氣（300820）、北方華創(chuàng)（002371）

相關(guān)企業(yè)：MKS Instruments, Inc.、Advanced Energy Industries, Inc.、深圳市恒運昌真空技術(shù)股份有限公司、江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司、深圳市瀚強科技股份有限公司、深圳市廣能達半導(dǎo)體科技有限公司

關(guān)鍵詞：等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)壁壘、等離子體射頻電源系統(tǒng)市場政策、等離子體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、等離子體射頻電源系統(tǒng)市場規(guī)模、等離子體射頻電源系統(tǒng)競爭格局、等離子體射頻電源系統(tǒng)發(fā)展趨勢

一、概述

等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造中極其關(guān)鍵的專用電源系統(tǒng)，主要由等離子體射頻電源和匹配器組成。等離子體射頻電源是可以產(chǎn)生正弦波電壓，工作頻率范圍一般處于3KHz至300GHz之間，具有一定功率的工藝電源。其核心作用是通過產(chǎn)生高頻電場，在晶圓反應(yīng)腔體內(nèi)將特定工藝氣體電離，創(chuàng)造并維持高活性、高能量的等離子體，并利用等離子體的特殊性能實現(xiàn)薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗去膠、鍵合等復(fù)雜半導(dǎo)體工藝（薄膜沉積、刻蝕與光刻并稱為芯片制造三大關(guān)鍵工序）。等離子體射頻電源系統(tǒng)的性能直接影響薄膜沉積、刻蝕等環(huán)節(jié)中等離子體的成分濃度、均勻性和穩(wěn)定性等，對于薄膜沉積的厚度、密度、應(yīng)力、速率，以及刻蝕的選擇性、方向性、速率、質(zhì)量等至關(guān)重要，進而影響晶圓制造工藝的能力、良率和效率，等離子體射頻電源系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造核心裝備中占據(jù)著核心位置。

二、行業(yè)壁壘

半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件是半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)更迭和制程演進的重要承載，在半導(dǎo)體工藝和芯片結(jié)構(gòu)日趨復(fù)雜的背景下，半導(dǎo)體設(shè)備商對核心零部件廠商的要求更為嚴(yán)苛，包括對產(chǎn)品的可靠性、穩(wěn)定性和一致性及核心零部件廠商的研發(fā)能力、技術(shù)實力。因此，半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件行業(yè)的技術(shù)壁壘很高，等離子體射頻電源系統(tǒng)作為薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備等半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件，技術(shù)要求極高，此外，由于半導(dǎo)體設(shè)備和產(chǎn)線結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性，各設(shè)備的良率、穩(wěn)定性會對整個制造體系產(chǎn)生累積效應(yīng)，設(shè)備零部件的瑕疵或問題可能引起巨額的潛在損失，因此半導(dǎo)體設(shè)備商及晶圓廠對于零部件的驗證、驗收有嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)和流程，且在設(shè)備定型后，不會輕易更換機臺上所使用的等離子體射頻電源系統(tǒng)，以此滿足半導(dǎo)體“精確復(fù)制”的管理模式，因此，半導(dǎo)體設(shè)備商及晶圓廠往往會選擇長期合作的核心零部件供應(yīng)商。

三、市場政策

根據(jù)國家統(tǒng)計局發(fā)布的《國民經(jīng)濟行業(yè)分類》（GB/T4754—2017），等離子體射頻電源系統(tǒng)屬于“半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造”，行業(yè)代碼為“C3562”。我國高度重視半導(dǎo)體等核心產(chǎn)業(yè)發(fā)展，相繼出臺《電子信息制造業(yè)2023—2024年穩(wěn)增長行動方案》《河套深港科技創(chuàng)新合作區(qū)深圳園區(qū)發(fā)展規(guī)劃》《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》《關(guān)于加快數(shù)字經(jīng)濟高質(zhì)量發(fā)展的意見》《貫徹實施〈國家標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展綱要〉行動計劃（2024—2025年）》《關(guān)于做好2024年享受稅收優(yōu)惠政策的集成電路企業(yè)或項目、軟件企業(yè)清單制定工作有關(guān)要求的通知》《中共中央關(guān)于進一步全面深化改革推進中國式現(xiàn)代化的決定》等一系列政策，大力推動等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)進步。

四、產(chǎn)業(yè)鏈

1、產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)

等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)上游主要包括電容、MOSFET、芯片及模組等電子件供應(yīng)商，功率模塊等電氣件供應(yīng)商以及結(jié)構(gòu)件等原材料供應(yīng)商；行業(yè)中游為等離子體射頻電源系統(tǒng)研發(fā)、制造等環(huán)節(jié)；行業(yè)下游為應(yīng)用市場，涵蓋半導(dǎo)體、光伏、顯示面板等諸多領(lǐng)域。

2、上游

從上游成本結(jié)構(gòu)來看，目前，包括電容、MOSFET、芯片及模組、功率模塊、結(jié)構(gòu)件在內(nèi)的原材料占比最大，超70%，因此，等離子體射頻電源系統(tǒng)企業(yè)需要與上游供應(yīng)商建立長期穩(wěn)定的戰(zhàn)略合作關(guān)系，通過聯(lián)合研發(fā)新材料、優(yōu)化采購流程、批量集中采購等方式，降低原材料的采購成本，同時，要密切關(guān)注上游產(chǎn)業(yè)鏈的技術(shù)迭代和價格波動，提前布局關(guān)鍵原材料的儲備與替代方案，以增強對成本的把控能力，從而在激烈的市場競爭中保持產(chǎn)品的價格優(yōu)勢和利潤空間，為企業(yè)的持續(xù)發(fā)展奠定堅實基礎(chǔ)。

3、下游

從下游需求結(jié)構(gòu)來看，目前，半導(dǎo)體為我國等離子體射頻電源系統(tǒng)最大需求市場，占比超50%，半導(dǎo)體設(shè)備處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上游環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石，是提升我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性的關(guān)鍵，據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示，2023年我國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達366億美元，占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場整體規(guī)模的34.56%，2024年我國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模有望突破450億美元，市場占比有望突破40%，等離子體射頻電源系統(tǒng)作為半導(dǎo)體設(shè)備的電氣類核心零部件，隨著半導(dǎo)體設(shè)備市場的持續(xù)繁榮將迎來更廣闊的發(fā)展空間。

相關(guān)報告：智研咨詢發(fā)布的《中國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場動態(tài)分析及未來趨勢研判報告》

五、發(fā)展現(xiàn)狀

隨著半導(dǎo)體、光伏、顯示面板等下游市場的飛速發(fā)展，帶動等離子體射頻電源系統(tǒng)市場需求與日俱增，市場規(guī)模持續(xù)擴容，據(jù)統(tǒng)計，2024年全球等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場規(guī)模達55.0億美元，同比增長10.22%，未來，隨著半導(dǎo)體制程的不斷演進，薄膜沉積、刻蝕等半導(dǎo)體工藝復(fù)雜度與精細(xì)度不斷提升，對等離子體射頻電源系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)要求也越來越高，同時也形成了新的技術(shù)升級驅(qū)動力。

從國內(nèi)市場來看，我國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)起步較晚，但近年來在國家政策的加持下發(fā)展迅速，據(jù)統(tǒng)計，2024年我國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場規(guī)模達123.3億元，同比增長9.50%，未來，隨著科技的持續(xù)進步和市場需求的日益增長，我國等離子體射頻電源系統(tǒng)市場有望迎來更廣闊的發(fā)展空間。

六、競爭格局

1、整體格局

等離子體射頻電源系統(tǒng)具有技術(shù)壁壘高、研發(fā)投入大、研發(fā)周期長、生產(chǎn)的“精確復(fù)制”要求極高的特點，加之我國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)起步較晚，因此，等離子體射頻電源系統(tǒng)成為我國半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)化最難關(guān)卡之一，國產(chǎn)化率較低。目前，等離子體射頻電源系統(tǒng)由國際頭部廠商壟斷，極少數(shù)國產(chǎn)廠商參與等離子體射頻電源系統(tǒng)市場呈現(xiàn)高度集中的競爭格局，主要由美國的MKS、AE等國際巨頭主導(dǎo)，近年來，國內(nèi)企業(yè)也在加速追趕，如深圳市恒運昌真空技術(shù)股份有限公司是國內(nèi)極少數(shù)實現(xiàn)量產(chǎn)半導(dǎo)體級等離子體射頻電源系統(tǒng)的企業(yè)，其產(chǎn)品能支撐14納米先進制程，另外，四川英杰電氣股份有限公司、華丞電子（北方華創(chuàng)子公司）等也是該中游環(huán)節(jié)的參與者。

2、代表國產(chǎn)企業(yè)分析

（1）四川英杰電氣股份有限公司

四川英杰電氣股份有限公司作為國內(nèi)綜合性工業(yè)電源研發(fā)及制造領(lǐng)域具有較強實力和競爭力的企業(yè)之一，主要專注于電力電子技術(shù)在工業(yè)各領(lǐng)域的應(yīng)用，從事以功率控制電源、特種電源為代表的工業(yè)電源設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售以及新能源汽車充電樁/站的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。近年來，公司加大了在半導(dǎo)體及電子材料領(lǐng)域的投入，重點攻關(guān)半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積（CVD/PECVD）、離子注入等關(guān)鍵制程電源技術(shù)，同步拓展碳化硅外延、復(fù)合銅箔等新興領(lǐng)域，部分型號射頻電源已實現(xiàn)量產(chǎn)，覆蓋5nm刻蝕及PECVD等先進制程，已經(jīng)申請了數(shù)十項半導(dǎo)體電源相關(guān)專利。2024年英杰電氣營業(yè)總收入達17.80億元，毛利潤6.86億元，毛利率為3.85%。

（2）深圳市恒運昌真空技術(shù)股份有限公司

深圳市恒運昌真空技術(shù)股份有限公司是國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件供應(yīng)商，主要圍繞等離子體工藝打造產(chǎn)品矩陣，自研產(chǎn)品具體包括等離子體射頻電源系統(tǒng)（等離子體射頻電源及匹配器）、等離子體激發(fā)裝置（遠(yuǎn)程等離子體源、射頻離子源）、等離子體直流電源、配件（濾波器、阻抗調(diào)整器等）；引進產(chǎn)品主要包括真空獲得和流體控制分別所需的真空泵、質(zhì)量流量計等核心零部件；同時還為晶圓廠提供等離子體射頻電源系統(tǒng)原位替換及維修等技術(shù)服務(wù)。

深圳市恒運昌真空技術(shù)股份有限公司于2013年成立，先后經(jīng)歷了起步探索期（2013-2017年）、快速發(fā)展期（2018-2022年）、持續(xù)創(chuàng)新期（2023-至今）。在各發(fā)展階段，公司發(fā)展引進業(yè)務(wù)的同時，在自研方面以等離子體射頻電源系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)的不斷突破為核心，圍繞等離子體工藝核心零部件整體解決方案及產(chǎn)業(yè)布局實現(xiàn)階梯式的發(fā)展。

七、發(fā)展趨勢

目前我國等離子體射頻電源系統(tǒng)在半導(dǎo)體領(lǐng)域國產(chǎn)化率仍然很低，在復(fù)雜的國際地緣政治形勢下，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商對于零部件自主可控的要求愈發(fā)緊迫，這使得他們對國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)導(dǎo)入意愿空前強烈，同時，以深圳市恒運昌真空技術(shù)股份有限公司為代表的國產(chǎn)供應(yīng)商已經(jīng)取得了技術(shù)沉淀和產(chǎn)品迭代的成果，并且逐步通過了半導(dǎo)體設(shè)備商和晶圓廠的產(chǎn)品與技術(shù)驗證，未來伴隨中國大陸半導(dǎo)體市場的快速發(fā)展以及國產(chǎn)替代的整體趨勢，國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)的市場份額會持續(xù)擴大。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（www.techappsinsider.com）發(fā)布的《中國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)市場動態(tài)分析及未來趨勢研判報告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。