等離子體射頻電源系統(tǒng)

2025年中國等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)壁壘、市場政策、產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、市場規(guī)模、競爭格局及發(fā)展趨勢研判：MKS、AE等國際巨頭占據(jù)主導地位圖]

等離子體射頻電源系統(tǒng)是半導體制造中極其關鍵的專用電源系統(tǒng)，主要由等離子體射頻電源和匹配器組成。等離子體射頻電源是可以產(chǎn)生正弦波電壓，工作頻率范圍一般處于3KHz至300GHz之間，具有一定功率的工藝電源。